Die Plasma-Prozesse wie z.B. Plasma-Nitrieren / -Nitrocarburieren sind ebenfalls thermo-chemische Prozesse mit dem großen Vorteil von fehlender Korngrenzenoxidation, wesentlich kürzeren Zykluszeiten und Prozessführung im Hochtemperatur-Bereich.

Aber auch bei diesen Prozessen können bei falscher Auswahl der Parameter Störungen und erhebliche finanzielle Verluste durch Ausschuß eintreten. Die kritischen Bereiche sind nachfolgend zusammengefasst:

• Qualität der verwendeten Werkstoffe
• Auswahl der Werkstoffe für bestimmte Anwendungszwecke
• Vorbearbeitung der Komponenten und Bauteile
• Qualität der Atmosphären und der verwendeten Gase
• Temperaturfeld
• Druck
• Spannung
• Stromdichte
• Abschreckkriterien
• Prozessregelsysteme
• Verfahrensabläufe

Da es sich bei allen Wärmebehandlungsprozessen um empirische Abläufe handelt, lassen sich optimale Lösungsansätze nur mit entsprechend erfahrenen Experten finden.