Die Vakuum-Wärmebehandlung findet vorzugsweise Anwendung beim Härten und Anlassen von Komponenten aller Art, wobei zum einen durch den fehlenden Sauerstoff Oxidations-Probleme vermieden werden und durch den Einsatz von Gas beim Abschrecken ein umweltfreundlicher bis zu einem  gewissen Grade steuerbarer Prozeß abläuft.

Je nach Werkstoff – insbesondere bei niedriglegierten Stählen – wird Öl als Abschreckmedium erforderlich. Ergänzend zur Plasma- Aufkohlung wird in den letzten Jahren auch das Niederdruck- oder Vakuum- Aufkohlen angewendet.
Weitere spezifische Prozesse unter Vakuum sind die Löt- und Sinter- Technik sowie das Hochdruck- Nitrieren, für die komplexe Verfahrenszusammenhänge zu beachten sind.

Die kritischen Bereiche, um Störungen sowie finanzielle Verluste durch Ausschuß zu vermeiden, können wie folgt zusammengefasst werden:

• Qualität der verwendeten Werkstoffe
• Auswahl der Werkstoffe für bestimmte Anwendungszwecke
• Vorbearbeitung der Komponenten und Bauteile
• Qualität der Atmosphären und der verwendeten Gase
• Temperaturfeld
• Druck
• Abschreckkriterien
• Abschreckmedien (Gase/Öle)
• Prozessregelsysteme
• Verfahrensabläufe

Da es sich bei allen Wärmebehandlungsprozessen um empirische Abläufe handelt, lassen sich optimale Lösungsansätze nur mit entsprechend erfahrenen Experten finden.